Кристалл кварцевый АТ для систем измерения толщины тонких пленок

Сенсор кварцевый серии AT

Представляет собой круглую кварцевую пластину толщиной 0,5-1 мм диаметром 14-16 мм. Используется в системах измерения толщины пленок в напылительных установках оборудования для изготовления микроэлектронных приборов. Используется в установках для изготовления полупроводниковых и микроэлектронных приборов. Пьезорезистивный.

Используемые материалы – полированный кварц с металлическим покрытием.